钛/硅-蓝宝石压力传感器为应变压阻结构，在弹性体蓝宝石上异质外延生长单晶硅薄膜，利用干法腐蚀制作蓝宝石杯，然后刻蚀硅膜形成惠斯登力敏电桥。蓝宝石+钛合金在850℃高温熔焊在一起，形成绝缘性很好的基底垫层。硅+蓝宝石是制造半导体式压力传感器的理想材料。

  蓝宝石-耐热性好、弹性强度高、绝缘性好(工作温度高)，异质外延式应变电阻没有p-n结，且为均质搀杂（绝缘阻抗高），可将蓝宝石牢固地钎焊在金属和陶瓷上（结构多样化），SOS结构抗辐射能力强。

  蓝宝石系由单晶绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；

  蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性；

  硅-蓝宝石半导体敏感元件，无p-n漂移；

  压力测量范围范围宽：0-4KPa～260MPa ～500MPa ；

  阻抗高，低功耗，精度优于0.1%F.S；温度测量范围宽：-200℃～+550℃,温度误差小；

  工作稳定(经1000万次最大压力负载循环后,传感器性能无任何变化),年漂移量小于0.1%F.S；

  可靠性高：双膜片结构钛合金金属膜片可以2倍以内的过载,而不损坏传感器；

  抗辐射，耐腐蚀抗震动性极强(12Cr15Mn9NiCu )。