溅射薄膜压力传感器

  溅射薄膜工艺技术将电桥电路直接沉积在金属感压膜片上,在压力作用下感压膜片产生形变,从而使电桥的桥臂阻值产生差分变化,在外接电源的激励下,输出与介质压力成一定比例关系的电压信号。由于工艺上的优势,该传感器不仅抗冲击、振动、耐腐蚀,而且还解决了由于粘贴工艺而产生的迟滞、蠕变、漂移、老化、长期不稳定性等缺点。

工作温度范围宽:-200℃~240℃,温度误差小;

压力测量范围广:0~0.5MPa~250MPa;

线性、温漂效果好,多项式拟合方便、效果佳;

选用镍基合金材质为膜片,抗酸碱、硫化氢等等腐蚀。

抗振动耐冲击能力强。


上一篇:钛/硅-蓝宝石压力传感器        下一篇:没有了!